Úplně první semafor se objevil už v roce 1868 v Londýně před budovou britského parlamentu, kde usměrňoval provoz koňských povozů a chodců. Předchůdce dnešní světelné signalizace se skládal z mechanických návěstidel podobných těm na železnici a plynových lamp pro noční provoz. Tento systém potřeboval zručnou lidskou obsluhu, a přesto měl jepičí život: po necelém měsíci provozu explodoval jeden z přívodů plynu. Kvůli bezpečnosti už nebyl tento experiment obnoven.
Čekalo se na nástup elektřiny a první pokusy se začaly objevovat po roce 1910. Dnes se za první funkční světelně řízenou křižovatku považuje vynález Jamese Hodge, který se objevil v roce 1914 v Clevelandu v americkém státě Ohio. Tento pradědeček všech dnešních semaforů měl elektrická světla červené a zelené barvy.
Vyžadoval obsluhující personál, ale systém byl navržen tak, že nebylo možné spustit špatnou kombinaci světelných signálů. Už o tři roky později řídil dopravu v Salt Lake City systém propojených semaforů, který usměrňoval provoz na šesti křižovatkách současně. A s počátkem dvacátých let začíná v USA nástup automatizovaných systémů. Zároveň se ustálil systém tří světel s oranžovým uprostřed.
V Evropě byly počátky světelných křižovatek pomalejší. Prvenství náleží Paříži, kde se první semafor objevil v roce 1922, ve stejném roce instalovali první „světla“ i v Hamburku. Mnohem známější je ale o kousek mladší sloup uprostřed křižovatky na Potsdamer Platz v Berlíně. Sloužil od roku 1924 až do války, v roce 1990 byl po sjednocení Německa na stejném místě, kudy dříve procházela Berlínská zeď, obnoven v původní podobě.
Paříž, Hamburk a Berlín rychle následovala další velká evropská města, v roce 1925 Milán a Řím, o rok později Londýn a Vídeň a v roce 1927 i Praha. První český semafor stál v ulici Hybernská u Masarykova nádraží. Mimo nejvýznamnější metropole si ale světelně řízené křižovatky našly cestu až v průběhu padesátých let.
Na našich silnicích se semafory v moderní podobě, jak je známe dnes, objevily v roce 1967. To vstoupila v platnost nová vyhláška o pravidlech silničního provozu, která definovala princip fungování semaforů, včetně směrových šipek a světelných signálů pro chodce.
